▲ 지난 2022년 7월 26일 한화진 환경부 장관이 경북 구미시 소재 SK실트론을 방문해 반도체 웨이퍼 제조용 초순수 생산 국산화를 위한 실증플랜트 구축현황을 점검하고 있는 모습

[기계신문] 한화진 환경부 장관은 2월 1일(수) 경북 구미시에 소재한 SK실트론 구미2공장 내 초순수 생산공정 국산화 연구개발 현장을 방문하여 진행 상황을 점검했다.

이번 방문은 그동안 해외기술에 의존해왔던 ‘반도체의 생명수’ 초순수 기술개발 상황을 점검하고, 물산업의 육성과 해외수출을 독려하기 위해 마련됐다.

한화진 장관은 연구책임자로부터 초순수 국산화 진행 상황 등을 자세히 보고받고, 생산공정을 돌아본 뒤 국산화의 시급성 강조하며 연구개발에 참여한 관계자들을 격려했다.

초순수는 반도체 제조공정 중 각종 오염물을 제거하는 데 사용되는 물로 순도 100%에 가깝게 전해질, 미생물, 미립자 등을 완전히 제거한 초고순도의 물로 반도체를 제조할 때 반드시 필요한 재료다.

초순수 해외시장 규모는 2020년 19.5조원에서 2024년 23.4조원으로 지속 성장하고 있다. 그러나 ‘반도체 강국’인 우리나라에선 그동안 초순수 생산을 미국, 일본 등 해외기업에 의존해왔다.

▲ 초순수 시장현황

이에 환경부는 반도체산업의 초격차 달성 지원과 경제안보 확보를 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화를 추진하고 있다. 1단계로 2025년까지 450억 원을 투입하여 초순수 생산 플랜트의 설계, 시공, 운영 기술뿐만 아니라 탈기막·자외선-산화장치·이온교환수지 등 핵심장치 3종을 국산화할 계획이다.

초순수 국산화 1단계는 한국수자원공사 등 21개 민관기관에서 지난해부터 추진한 국산 설계 및 시공기술로 하루 1,200톤 생산 규모의 실증플랜트를 SK실트론 공장 부지에 구축하여 현재 시운전 중이다. 시운전 결과, 수질 검증이 완료되면 실수요처인 SK실트론에 초순수가 공급될 예정이다.

환경부는 올해 1,200톤 규모의 실증플랜트를 추가로 구축하고, 2025년까지 수질 및 성능검증 등을 거쳐 초순수 국산화 1단계를 완료할 예정이다.

초순수 국산화 2단계는 초순수 수질분석, 기술개발, 실증·검증 및 교육시설 등이 집적화된 플랫폼센터를 2030년까지 조성할 계획이다. 이를 통해 초순수 생산기술이 단기간에 고도화되고 관련 소재·부품·장비 개발 및 강소기업이 육성되면 해외 진출 기반도 마련될 것으로 보인다.

아울러 환경부는 초순수 분야 미래 고급인력 양성 등 인적 기반 구축을 위해 교육부와 협업하여 올해 대학교 1곳에 초순수 교육과정 개설을 추진할 계획이다.

한화진 환경부 장관은 “초순수 분야는 그간 미국, 일본 등 일부 국가에 의존해온 기술로 반도체산업 경쟁력을 위해 국산화는 시급한 과제”라며 “앞으로 초순수 국산화에 이어 국내 물산업의 전반적인 수준을 높여 새로운 부가가치를 창출하는 등 해외시장 진출 확대에 최선을 다하겠다”고 말했다.

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