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  • 기사등록 2021-11-16 17:42:22
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▲ 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음으로 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’이 16일(화) 경북 구미에 소재한 SK실트론 생산공장에서 개최됐다.



[기계신문] 환경부는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음으로 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’을 16일(화) 경북 구미에 소재한 SK실트론 생산공장에서 개최했다.


이번 착공식을 시작으로 한국수자원공사, 한국물기술인증원 등 환경부 산하 공공기관과 관련 업계는 2025년까지 초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 초저농도 용존산소 제거용 탈기막 고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.


이번 실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 SK실트론 공장 내에 설치하여 해외기술과 국내기술을 직접 비교하고 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 데 의미가 있다.



▲ 초순수 생산공정



한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2,400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치·운영하여, 관련 생산공정의 설계·운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있다.


초순수(Ultra Pure Water)는 초미세회로(nano meter, 10⁻⁹m)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는데 사용되는 필수 공업용수다.


초순수 내에 불순물이 거의 없는 상태(유기물 0.01ppm 이하)를 유지해야 하는 최고 난이도의 수처리 기술이 필요하며, 전 세계적으로 일부 선진국만이 초순수 생산기술을 보유하고 있다.



▲ (물 순환) 공업용 원수(상수도) → 고순도 공업용수 생산(초순수) → 반도체 공정 세정(폐수) → 반도체 폐수 재이용 처리 공정(재이용수) → 반도체 공정 내 재이용



그간 국내 반도체 기업에서는 반도체용 초순수의 생산과 공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다.


반도체 외에 전자, 의약, 철강 등 주요 산업에서 사용되는 고순도 공업용수 분야의 세계시장 규모는 2024년 23조원 규모까지 성장할 것으로 전망되며, 이 중 반도체용 초순수 시장은 전 세계 약 4.4조원, 국내 1.4조원으로 추산된다.


한편, 지난 5월 정부는 2030년까지 510조원 이상의 투자를 통해 반도체 제조 기술의 초격차를 이어가 종합반도체 강국으로 도약하기 위한 ‘한국형(K) 반도체 전략’을 발표한 바 있다.



▲ 고순도 공업용수 생산공정 국산화 기술개발 세부내용



환경부도 이 전략의 하나로, 반도체의 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심소재인 반도체용 초순수 생산기술의 국산화를 추진하고 있어, 일본기업이 주도하고 있는 초순수 시장에 국내기업이 진출하는 발판이 마련될 것으로 기대된다.


한정애 환경부 장관은 “선진국 간 전쟁에 가까운 산업기술패권 경쟁을 벌이는 현 상황에서 독자적인 기술경쟁력을 확보하지 못한다면 반도체 공급망에서 소외될 가능성이 있다”며 “반도체의 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심소재임에도 불구하고 일본, 미국, 프랑스 등 일부 선진국에만 의존하던 반도체용 초순수 생산기술의 자립을 위해 환경부가 앞장설 것”이라고 밝혔다.


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권혁재 기자 hjk@mtnews.net

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